集微网报道 时下,半导体产业已经成为全球主要国家竞相争夺的战略高地。由于起步较晚,我国半导体产业发展中还有不少短板,尤其是在上游的设备领域,部分高端设备、设备中的核心器件仍高度依赖国外品牌。
习近平总书记强调:“要加快科技自立自强步伐,解决外国‘卡脖子’问题。”对于半导体设备领域,提升国产化率推进自主可控势在必行。
集微网了解到,前不久,国内某光伏设备头部供应商解决了一项关键卡脖子环节——半导体设备专用串级温控器,产品成功通过国内光伏龙头企业的产线验证,不仅实现国产替代,而且在光伏良率的提升上优于国外品牌产品,在国家科技成果鉴定中被行业专家评定为国际先进。
据悉,该串级温控器由在温控领域深耕超过30年的国内厂商厦门宇电自动化科技有限公司(以下简称:宇电)自主研制。此次半导体设备专用国产串级温控器的成功推出,填补了过去多年在这一领域的国内空白。随着在光伏制造产线的成功导入,该产品接下来将向微电子等更广泛的半导体制造领域扩展,推进上游半导体设备的仪表国产替代。

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替代国外品牌,国产温控器实现光伏半导体领域突破
温控器,顾名思义,就是测量并调控温度的设备。它通过读取温度传感器的测量数值,并通过计算机程序执行复杂智能的控制算法,利用连接的执行器件精确调节加热器等负载的温度。是工业生产、自动化产线上必不可少的核心配件。
而与普通PID温控器不同,半导体生产设备中许多环节,比如扩散、氧化、刻蚀、PECVD等过程使用的串级温控器需要高端复杂调节算法,以此来应对半导体设备中温度控制滞后较大且扰动多等问题。作为温控器应用的高端市场,半导体制造领域对温控器的产品精度、可靠性、抗干扰性和稳定性要求均非常苛刻。
一位光伏制造业内人士指出,生产晶体硅太阳能电池的产线上,温度控制更是堪比灵魂。比如扩散炉需要将炉内温度按照一定升温速率加热到700℃-1040℃左右,并且要快速将温度波动稳定在±0.5℃内,这对控温的精准度、可靠性和稳定性有极致的苛刻要求,温度一旦发生偏差,产品性能就会大打折扣甚至报废。
超高的技术门槛使得能进入半导体领域的串级温控器厂商屈指可数,以往只有日本AZBIL、英国PMA和美国WATLOW旗下EUROTHERM等少数品牌可以满足要求。而宇电新推出的AI-8半导体设备专用串级温控器去年成功进入光伏制造领域,成为目前唯一一家产品通过光伏半导体市场验证的国产温控器企业。






