产品详情
产品细节:0010-47763 Applied Materials 静电卡盘
0010-47763 是一款由 Applied Materials 生产的静电卡盘(Electro Static Chuck,简称 ESC),具体型号为 AMAT 0010-47763R ASSY。以下是该产品的详细信息:
产品详情
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型号:0010-47763,也称为 AMAT 0010-47763R ASSY。
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名称:静电卡盘(ESC),具体型号为 Monopolar Dual Heated。
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功能:用于固定和支撑半导体晶圆(wafer),在制造过程中提供稳定的静电吸附。
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特点:
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单极双加热设计。
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适用于高精度的半导体制造工艺。
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带有粘合(Bonded)结构。
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0010-44213
产品参数:0010-47763 Applied Materials 静电卡盘
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型号:0010-47763,也称为 AMAT 0010-47763R ASSY。
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名称:静电卡盘(ESC),具体型号为 Monopolar Dual Heated。
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功能:用于固定和支撑半导体晶圆(wafer),在制造过程中提供稳定的静电吸附。
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特点:
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单极双加热设计。
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适用于高精度的半导体制造工艺。
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带有粘合(Bonded)结构
AMAT COMPONENT SIDE 主机架
AMAT 0100-71267 扩展机架
AMAT 0200-00672 网络通信模件
AMAT 0190-14502 DCS备件
AMAT 0190-01431 PLC中央处理器
AMAT 0190-15384 DO模块
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0010-47763 Applied Materials 静电卡盘 应用领域:
该静电卡盘主要用于半导体制造设备中,用于固定和处理晶圆,确保在高真空和高精度工艺环境下的稳定性和可靠性
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