产品详情
产品参数：
品牌：LAM
型号：685-069171-100
输入电压：24V DC ±10%
工作温度：-20°C ~ +60°C
通信协议：支持EtherCAT、Profibus-DP
防护等级：IP20
响应时间：≤1ms
冗余设计：双CPU热备份，故障切换时间<5ms
Brand: LAM Research
Model: 685-069171-100
Input Voltage: 24V DC ±10%
Operating Temperature: -20°C ~ +60°C
Communication: EtherCAT, Profibus-DP
Protection: IP20
Response Time: ≤1ms
Redundancy: Dual-CPU hot backup
产品特点：
- 高精度控制：采用多核处理器架构，支持纳米级工艺参数调整，适用于半导体蚀刻与沉积设备。
- 抗电磁干扰：全屏蔽结构设计，通过IEC 61000-4-4标准测试，在复杂电磁环境下稳定运行。
- 智能诊断：内置故障预测算法，通过振动与温度传感器实时监测设备健康状态，减少非计划停机513。
Features:
- Nano-Level Control: Optimizes etching/deposition parameters for 5nm+ chip processes.
- EMI Resistance: Full-shielded design compliant with IEC 61000-4-4.
- Predictive Maintenance: Reduces downtime via vibration/temperature analytics.
产品应用：
- 半导体制造：晶圆加工、光刻机控制
- 光伏产业：薄膜太阳能电池生产线
- 精密电子：高密度PCB蚀刻设备
Applications:
- Wafer fabrication
- Thin-film solar cell production
- High-density PCB manufacturing
产品介绍：
LAM 685-069171-100 是一款高精度的光谱仪，专为半导体制造中的化学成分分析而设计。它采用先进的傅里叶变换红外光谱技术（FTIR），能够精确测量薄膜和其他材料的化学成分。该光谱仪具备高分辨率和宽波数范围，适用于多种半导体制造工艺，包括薄膜厚度和成分分析、材料纯度检测以及半导体晶圆质量监测。
Product Introduction：
The LAM 685-069171-100 is a high-precision spectrometer designed for chemical composition analysis in semiconductor manufacturing. It employs advanced Fourier-transform infrared (FTIR) spectroscopy technology to precisely measure the chemical composition of thin films and other materials. With high resolution and a wide wavenumber range, this spectrometer is suitable for various semiconductor manufacturing processes, including thin film thickness and composition analysis, material purity detection, and semiconductor wafer quality monitoring.
LAM 853-001983-110 电涡流传感器
LAM 810-800082-043 监测
LAM 810-046015-010 机架
LAM 810-073479-215 远程模件
LAM 810-801237-021 主处理器
LAM 810-801237-021 脉冲输入
LAM 810-068158-013 模拟量
LAM 810-800081-022 数字量
LAM 810-800081-018 接线底板
LAM 853-049542-173 冗余
LAM 810-046015-010 安全系统
LAM 810-099175-012 终端面板
LAM 810-046015-010 PDP面板
LAM 810-066590-004 可编程
LAM 810-068158-014 逻辑控制器
LAM 810-069751-114 控制板
LAM 810-072907-005 双输出
LAM 685-069171-100 RXM机架
