产品详情
产品细节：832-129731-015 Advanced Energy Navigator II 系列 射频匹配器
832-129731-015 是 Advanced Energy Navigator II 系列的射频匹配器（RF Matcher），主要用于半导体制造设备中的射频功率传输和匹配。以下是该产品的详细信息：
产品概述
832-129731-015 是一款高性能的射频匹配器，专为半导体制造设备中的等离子体刻蚀和薄膜沉积工艺设计。它能够优化射频功率的传输效率，确保工艺的稳定性和重复性。
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数字架构：配备微处理器控制的步进电机驱动和先进的调谐算法，能够快速优化射频功率。
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脉冲射频功率传输：支持脉冲射频功率传输，适用于需要高精度控制的应用。
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实时监测：可选配内部 Z’Scan® II 射频传感器，实时分析工艺功率和阻抗，快速识别并显著减少工艺变异性。
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高可靠性：设计用于高真空和高功率环境，具有良好的耐用性和稳定性。
832-129731-015
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