产品详情
产品细节:0190-30354 UV腔体 光刻胶固化和晶圆键合应用
AMAT 0190-30354是Applied Materials公司生产的一款UV腔体,主要用于半导体制造过程中的光刻胶固化和晶圆键合应用。以下是该产品的一些详细特点和应用领域:
主要特点:
- 高强度紫外线照射:提供强紫外线辐射,有效固化光刻胶并键合晶圆。
- 均匀照射:确保整个晶圆表面均匀照射,以获得一致的结果。
- 精确温度控制:在固化和键合过程中保持精确的温度控制。
- 可调曝光时间:允许调整曝光时间,以优化特定材料和应用的固化和键合过程。
- 坚固可靠的结构:具有坚固可靠的结构,适用于要求苛刻的半导体制造环境。
应用领域:
- 光刻胶固化:将光刻胶图案化到晶圆上以创建所需的电路设计后进行固化。
- 晶圆键合:在半导体制造过程中将晶圆键合在一起,例如堆叠多个硅晶圆或将硅晶圆键合到其他材料上。
- 微电子封装:固化微电子封装中使用的粘合剂和封装剂。
- 光学元件制造:固化光学粘合剂和键合光学元件。
- 医疗器械制造:医疗器械制造中的键合和固化材料。
0190-30354
产品参数:0190-30354 UV腔体 光刻胶固化和晶圆键合应用
- 紫外线光源:汞灯
- 辐射波长:254 nm
- 辐射强度:高达10 W/cm²
- 温度控制范围:50°C至200°C
- 曝光时间范围:1秒至60分钟
- 腔体尺寸:600 x 600 x 600毫米(23.62 x 23.62 x 23.62英寸)
- 重量:约200公斤(441磅)
0190-30354 UV腔体 光刻胶固化和晶圆键合应用 应用领域:
AMAT 0190-30354 UV腔体的应用领域主要包括以下几个方面:
- 半导体制造:
- 光刻胶固化:在晶圆上涂覆光刻胶并进行曝光后,使用UV腔体固化光刻胶,以形成所需的电路图案。
- 晶圆键合:用于将晶圆与其他材料或晶圆进行键合,例如在制造多层芯片或微电子机械系统(MEMS)时。
- 微电子封装:
- 固化微电子封装中使用的粘合剂和封装剂,确保电子组件的稳定性和保护。
- 光学元件制造:
- 固化光学粘合剂和键合光学元件,如镜头、光纤连接器等。
- 医疗器械制造:
- 在医疗器械的制造过程中,用于键合和固化材料,如导管、传感器等。
- 通信行业:
- 作为光纤接口板,用于实现光信号与电信号之间的转换,确保光纤网络中数据的高效传输。
- 数据中心:
- 提供高速稳定的光纤连接,用于数据中心内部设备间以及数据中心与外部网络间的数据传输。
- 计算机网络:
- 在企业网络、校园网络等计算机网络中,光纤接口板用于提高网络带宽和稳定性。
- 工业控制:
- 在工业自动化和智能制造领域,光纤接口板用于实现工业设备间的数据通信和远程控制,提高生产效率和安全性。
- 其他领域:
- 还可以应用于广播电视、安全监控、医疗诊断等领域,为各种应用场景提供高速稳定的光纤连接解决方案。
Product Description
AMAT 0190-30354 is a UV cavity manufactured by Applied Materials for photoresist curing and wafer bonding applications in semiconductor manufacturing. The following are some of the detailed features and application areas of the product:
Main features:
High intensity ultraviolet irradiation: provides strong ultraviolet radiation, effectively solidifies the photoresist and bonds the wafer.
Uniform irradiation: Ensure uniform irradiation of the entire wafer surface for consistent results.
Precise temperature control: Maintain precise temperature control during curing and bonding.
Adjustable exposure time: Allows exposure time to be adjusted to optimize curing and bonding processes for specific materials and applications.
Robust and reliable construction: Robust and reliable construction for demanding semiconductor manufacturing environments.
Application field:
Photoresist curing: The photoresist is cured after patterning onto the wafer to create the desired circuit design.
Wafer bonding: Bonding wafers together during semiconductor manufacturing, such as stacking multiple silicon wafers or bonding silicon wafers to other materials.
Microelectronic packaging: adhesives and encapsulants used in curing microelectronic packaging.
Optical component manufacturing: curing optical adhesives and bonding optical components.
Medical Device Manufacturing: Bonding and curing materials in medical device manufacturing.
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